一、Ossila旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)安裝準(zhǔn)備
開(kāi)箱檢查
確認(rèn)設(shè)備及配件完整(主機(jī)、電源適配器、說(shuō)明書(shū)、卡盤(pán)固定工具等)。
檢查設(shè)備外觀無(wú)損壞，卡盤(pán)、轉(zhuǎn)軸等部件無(wú)松動(dòng)。
環(huán)境要求
放置于水平臺(tái)面，避免震動(dòng)或傾斜。
確保通風(fēng)良好，遠(yuǎn)離熱源和腐蝕性氣體。
電源要求：DC 24V 2A，適配100-240V 50/60Hz電源。
設(shè)備尺寸
尺寸規(guī)格：225 x 170 x 132 mm，結(jié)構(gòu)緊湊，適合手套箱或通風(fēng)櫥內(nèi)使用。
二、安裝步驟
連接電源
將電源適配器插入設(shè)備電源接口，另一端接入市電插座。
打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，設(shè)備指示燈亮起，確認(rèn)無(wú)異常報(bào)警。
固定基片
將基片(如PET、玻璃等)放置于聚丙烯卡盤(pán)上，通過(guò)卡盤(pán)凹口固定。
確保基片平整，無(wú)翹曲或偏移。
調(diào)整水平
設(shè)備內(nèi)置水平調(diào)整裝置，可通過(guò)底部螺絲微調(diào)，確保卡盤(pán)水平。
使用水平儀輔助校準(zhǔn)，避免旋涂時(shí)溶液分布不均。
三、調(diào)試與參數(shù)設(shè)置
初始調(diào)試
空載測(cè)試：?jiǎn)?dòng)設(shè)備，設(shè)置低轉(zhuǎn)速(如500 rpm)，觀察卡盤(pán)運(yùn)轉(zhuǎn)是否平穩(wěn)，無(wú)異響或震動(dòng)。
安全測(cè)試：打開(kāi)上蓋，確認(rèn)電磁安全開(kāi)關(guān)觸發(fā)，卡盤(pán)立即停止轉(zhuǎn)動(dòng)。
參數(shù)設(shè)置
轉(zhuǎn)速：120-6000 rpm可調(diào)，誤差<2%，根據(jù)基片材質(zhì)和溶液粘度選擇。
時(shí)間：1-1000秒可調(diào)，建議從短時(shí)間(如10秒)開(kāi)始測(cè)試。
程序存儲(chǔ)：支持10個(gè)獨(dú)立程序，每個(gè)程序最多50個(gè)步驟，可保存常用參數(shù)組合。
溶液滴加與旋涂
使用移液槍將溶液滴加至基片中心，避免過(guò)量導(dǎo)致飛濺。
啟動(dòng)旋涂程序，觀察溶液擴(kuò)散情況，調(diào)整轉(zhuǎn)速和時(shí)間以獲得均勻膜層。
四、常見(jiàn)問(wèn)題與解決
旋涂不均勻
檢查基片是否水平，卡盤(pán)是否有異物。
調(diào)整轉(zhuǎn)速或時(shí)間，或增加預(yù)旋涂步驟(低速甩干)。
溶液飛濺
降低初始轉(zhuǎn)速，或減少溶液滴加量。
確保上蓋關(guān)閉，避免溶液濺出。
設(shè)備報(bào)警
檢查電源連接是否穩(wěn)定，卡盤(pán)是否過(guò)載。
重啟設(shè)備，重新設(shè)置參數(shù)。
五、維護(hù)與保養(yǎng)
日常清潔
使用無(wú)塵布擦拭卡盤(pán)和轉(zhuǎn)軸，避免溶液殘留。
定期清理廢液槽，防止堵塞。
定期檢查
檢查電源線、接口是否松動(dòng)。
確認(rèn)電磁安全開(kāi)關(guān)靈敏度，必要時(shí)校準(zhǔn)。
長(zhǎng)期存放
斷開(kāi)電源，覆蓋防塵罩。
Ossila旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)存放于干燥、無(wú)腐蝕性氣體的環(huán)境中。
